透射电镜的特点:
1. 分辨率极高(目前微观成像方法中分辨率最高的方法),最简单的生物电镜实际分辨率可以达到1 nm,场发射透射电镜实际分辨率可以达到0.2 nm左右,经过球差矫正之后的球差电镜分辨率可以达到0.078 nm,能够非常清晰的分辨单个原子。
2.一般配置的TEM-EDS的空间分辨率我们认为实际应用中,一般是50 nm以上,配置了超级能谱的Talos f200X,他的EDS空间分辨率可以达到几个nm,仅次于球差配置的能谱分辨率。
3.透射电镜对样品的要求较高,需要满足干燥,样品厚度低于500 nm,对于常规的纳米材料,粉末或者溶液直接用载网担载样品即可,但是对于块体,膜材,微米级别大颗粒,器件,生物组织样本等,都需要经过特殊的样品前处理,才能进样拍摄。
4.透射电镜成像模式较多,可以提供更多的晶体结构方面的信息,因此掌握晶体理论,进行相关信息的分析解读是一个难点。