场发射扫描电子显微镜
TESCAN CLARA 捷克
技术参数
1）二次电子成像分辨率：≤0.9nm@15kV，≤1.4nm@1kV(非
样品台减速），≤1.2nm@1kV（样品台减速模式）；
2) 电子光学系统：(1)电子枪：高亮度肖特基场发射电子枪;(2)*放大倍数≥4~2,000,000倍；（3）视野范围：工作距离为10mm时视野范围不小于7mm，最大工作距离时视野范围不小于50mm；（4）*束流范围：最大束流不小于400nA，电子束流连续可调；（5）加速电压范围：≥50eV-30 keV.
应用范围
TESCAN 是一家专注于微观形貌、结构和成分分析的科学仪器的跨国公司，是全球知名的电子显微仪器制造商，总部位于全球最大的电镜制造基地-捷克布尔诺，产品主要有电子显微镜、聚焦离子束、X射线CT、电镜和拉曼、双束电镜和二次离子质谱的一体化联用系统及相关分析附件和软件，正被广泛应用于材料科学、生命科学、地球科学、半导体和电子器件等领域中。
利用它可以进行
形貌分析
通过形貌分析可获得样品的形貌、粒径、分散性等相关信息，同时还可通过专用的背散射探头对金属、陶瓷样品的质厚衬度像进行进一步的表征，可用于纳米材料、金属材料、薄膜材料、半导体材料、陶瓷材料、生物组织形貌像的观察，同时还可对材料断口和失效模式进行分析。
成分分析
微区成分分析，通过对样品微区、亚微区成分进行分析定性、定量分析，可确定样品的组成。可选择性的对样品进行能谱点测、能谱线扫、能谱面分布分析，获得样品中的元素在一个点、一条线、一个面上的分布情况。
检测案例
二次电子像检测案例
石墨烯掺杂
孔状结构
金属表面
背散射像检测案例
能谱点扫检测案例
能谱线扫检测案例
能谱面分布检测案例
送样要求
粉末样品：干燥，样品量大于3mg。
液体样品：样品量大于0.5ml。
块体/薄膜样品：高度需要低于5cm，长宽最好是小于5cm，如果式样尺寸较高或者较大，需要提前沟通。若需要做截面制样的样品，需要提供更大尺寸，长宽至少大于1cm*1cm，以防制样一次失败无多余样品。如果区分正反面，或者存在特殊测试区域，一定要提前做好标记。