辉光放电质谱仪是直接分析导电材料中的固态痕量元素的最佳工具，能在一次分析过程中测定基体元素(~100 %)、主体元素(%)、微量元素(ppm)、痕量元素(ppb)和超痕量元素(ppt)。
1.辉光放电质谱仪采用直接取样技术，无需要样品转化为溶液，即可进行元素定量分析，同传统的酸溶解测试方法相比较，二次污染小。因此，在测试分析定量上准确性更高。
2.辉光放电质谱仪将高效率辉光放电离子源与高分辨率质谱结合，具备高的分辨率和灵敏度、极低的检测限、良好的数据重现性和一次74种元素分析足以满足高纯材料分析的要求。
3.辉光放电质谱仪是高纯金属材料纯度分析通用手段，是分高纯材料(杂质含量在ppm以下)的重要和可靠的手段，比如B、P、Fe(检测限分别为6.7ppb、6.5ppb、0.3ppb)。能测试的元素大部分在亚ppb级。