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XPS数据解析是指通过对初始图谱进行定标、分峰、拟合、比对、积分等一系列的操作而获得待测样品结构组成一种数据处理手段，常用的XPS数据解析软件有xps peak fit、Origin、CasaXPS等，通过XPS数据分析我们可得到样品表面的元素组成、含量、化学价态、官能团种类、化学键合方式等信息，可分为定性分析和定量分析两种。
XPS数据分析案例
案例（一）：价态分析、键合方式分析
案例（二）：键合方式、官能团及含量分析