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XPS数据解析是指通过对初始图谱进行定标、分峰、拟合、比对、积分等一系列的操作而获得待测样品结构组成一种数据处理手段,常用的XPS数据解析软件有xps peak fit、Origin、CasaXPS等,通过XPS数据分析我们可得到样品表面的元素组成、含量、化学价态、官能团种类、化学键合方式等信息,可分为定性分析和定量分析两种。
XPS数据分析注意事项
1. XPS可以做的项目:常规全谱窄谱测试、俄歇谱、价带谱、深度溅射、MAPPING、角分辨
2. XPS测试的元素范围是Li-Cm,H、He元素不能测试
3. XPS数据分析可以等到元素的价态及半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号
4. 无特殊说明,默认是使用单色化AlKa源(Mono AlKa)能量是1486.6eV
5. 使用Al Kα X-ray会出现的重叠谱峰,当有重叠谱峰的时候直接定量的结果不能参考。下方是常见的一些重叠谱峰的情况,解决方法是
a.通过分峰拟合(这个是数据分析的内容)后再重新定量;
b.测试其他轨道的峰,需要备注相应的轨道,默认是测试最强峰;
c.如果是与部分元素的俄歇峰重叠,建议可以更换靶材试试,比如Mg靶
6. XPS测试数据提供原始数据,全谱图谱,无元素分析,精细谱不做任何矫正,不同材料的矫正方法不同,可以提供矫正操作的视频,链接。
选择中科百测做XPS数据分析有哪些优势
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