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球差电镜有两种模式:TEM模式和STEM模式,一般在TEM模式下更多是观察形貌,在STEM模式下,可以做EDS和EELS成分线扫和mapping。
(1)TEM模式:
低倍形貌像、高分辨像、衍射、会聚束衍射、纳米束衍射,EFTEM(配GIF系统),高分辨图像透射束和衍射束的相干像,衬度与焦聚有关,如果要解析原子结构像,样品要求比较薄,现在用户使用不多。
但如果想做原位电子显微学研究,一般都在此模式下进行。收集图像的设备是CCD。
(2)STEM模式
该模式下,可以使用各种明场和暗场探头收集各种图像。收集图像种类有HADDF\LADDF\BF\ABF(JEOL),它有优势得到的是原子结构像,像的衬度与原子序数有关,用户处理数据简单。EDS和EELS线扫描和面扫描都需要在此模式下进行。
(3)EDS: 能量分辨率130ev,B之后都可以测,一般Na之后会比较准。
(4)EELS :EELS能够测试的元素:能量分辨率0.7ev,理论上Li之后可以测。C、N、O、F、Mn、Fe、Ni、Cu等这些元素多些,但有些元素在高能区,不好测。
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