电子探针（EPMA）
JXA-8230 日本电子生产
技术参数
二次电子像分辨率：5nm 背散射电子像分辨率：20nm（拓扑像、成分像），成分分辨足以清晰分辨α/β黄铜
电子枪：LaB6发射枪，预对中灯丝 加速电压：0～30kV;
束流范围：10^-5～10^-12 A 图像放大倍数：×40～×300,000，连续可调
分析元素：5B~92U 分析精度：高于1%(主元素,含量＞5%)和5%(次要元素,含量～1%)
分析速度：自动全元素定性分析时间≤60秒，可以自动识别0.1wt%以上的元素
应用范围
用于成分分析、形貌观察，以成分分析为主。主要用WDS进行元素成分分析、检出角大、附有光学显微镜，可以准确定位工作距离(物镜极靴下表面与试样表面之间的距离）、电流大、稳定，所以定量结果准确度高,检测极限低。
点分析
将电子束（探针）固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法准确度高（适用于低含量元素定量 ），用于显微结构的成分分析，例如，对材料晶界、夹杂、析出相、沉淀物、奇异相及非化学计量材料的组成等分析。
线分析
电子束沿一条分析线进行扫描(或试样台移动扫描)时，能获得元素含量变化的线分布曲线。如果和试样形貌像（二次电子像或背散射电子像）对照分析，能直观地获得元素在不同相或区域内的分布变化曲线。
面分析
将电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来（定性分析)，亮度越亮元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常与形貌像对照分析。