X射线光电子能谱仪
Thermo escalab 250Xi 美国赛默飞生产
技术参数
分析深度：10nm以内；
元素检出限：0.01-1%；
微聚焦单色源：分析尺寸在20μm～900μm之间连续可调；
测试温度：室温-400℃；
自动化高效离子剖析源：新型Ar离子团簇与传统单粒子离子源相结合，用于各类材料的深度剖析研究；
高精确度角分辨XPS：软件控制分析位置和角度，确保数据的精确性和重复性。全套的ARXPS数据处理工具，可对纳米尺度的多层结构器件进行层厚计算；
紫外光电子能谱：可计算功函以及价带的位置
可做元素mapping
应用范围
Thermo ESCALAB 250Xi X射线光电子能谱综合了高灵敏度与高分辨率定量成像以及多种测试技术能力。是众多材料特性表征技术中行之有效的测试手段，目前已成为从生物材料到半导体材料等许多技术领域先进材料开发的重要工具。先进的Avantage数据采集和处理系统确保了从测试数据中挖掘尽可能多的信息。 同时还配备了微聚焦X射线单色器，提供优化的XPS性能，其市场领先的灵敏度确保了最大样本量。XPS并行成像是选择最好横向分辨率的方法，ESCALAB250Xi提供的成像空间分辨率优于3μm。
物质定性分析
根据测得的光电子动能可确定材料表面存在哪些元素，灵敏度(0.1%)。
物质定量分析
根据某种能量的光 电子的强度确定元素在其表面的含量，误差20%左右.
元素化学态分析
根据某元素光电子动能的位移可了解元素所处的化学状态。